白光干涉仪
仪器名称 | 白光干涉仪 | | ||
仪器编号 | 2020010992 | 仪器单价 | 48.96万元 | |
收费标准 | 400元/机时 | 存放地点 | 31-501 | |
国别 | 中国 | 生产制造商 | 深圳中图 | |
学科领域 | 机械工程 | 资源平台 | 浙江省城市轨道交通智能运维技术与装备重点实验室 | |
技术指标 | 扫描装置：长范围，Z轴纳米光栅控制；物镜：Nikon，10×无限远共轭干涉物镜； 物镜座：5孔电动物镜塔台（标准）；测量阵列：1024*1024，工业级相机；Z轴：100mm行程，纳米位移闭环反馈；安全性：系统集成紧急制动功能；样品台：0.1nm电动，俯仰倾斜±6°，电动调节，XY行程300*3尺寸450*450mm，亚微米闭环反馈 | |||
主要功能 | 适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量，通过对样片表面的微观形貌进行定量分析 | |||
服务范围 | 适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量，通过对样片表面的微观形貌进行定量分析 | |||
白光干涉仪操作流程 1.松开机器按钮，打开设备软件，输入账号和密码 2.仪器摄像头打开 3.通过调节旋钮，使倍镜与工件靠近，调节时眼睛注意观察倍镜与工件的距离，避免两者摩擦磨损镜头 4.在镜头下成像以后，先将镜头画面两次调至模糊状态，计算出差值。 5.确定扫描范围，范围值要大于差值 6.设置完成后，再将其调至干涉条纹状态，点击开始测量 7.测量完成后先进行数据处理 8.导出数据，进行数据分析。 9.关闭仪器软件 10.实验结束 | ||||
